- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
직류플라즈마증착장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 삼한박막진공 |
| 모델명 | DC PACVD |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-10-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C507 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 직류 플라스마를 이용한 다이아몬드 박막 및 후막 화학 기상 합성 증착 장치이다. 원료가스는 메탄 및 수소 가스를 이용하며, 필요에 따라 제 3원소를 추가할 수 있다. 최대 증착 면적은 4내지 5인치 이며, 증착속도는 막의 결정도에 따라 달라진다. 일반적인 기계적응용 혹은 열전도 후막 증착용인 경우에 시간당 대략 10 마이크로 미터 내외의 증착속도를 보인다. 합성가능한 다이아몬드 막의 두께는 원칙적인 한계는 없으나, 합성 시간, 막이 두꺼워질수록 증가하는 막의 잔류 응력축적에 따른 합성중의 막의 균열 발생등에 의해 제한된다. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201505/20150520112131989.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L0) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-05-202538 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0056617 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |