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반도체특성분석시스템

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보유기관명	한국전자통신연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C514
표준분류명
시설장비 설명	반도체의 wafer상태 및 디바이스 상태에서의 전기적 물성 및 특성을 특정하는 고정밀급 반도체용 계측장비로서 반도체의 동작 전압측정 동작 전류측정 누설전류 측정 브레이크 다운 전압측정 전도도 및 저항측정 디바이스 수명예측 Hot Carrier Test 등 다양한 파라메터 측정이 가능함 이 장비를 이용하여 Wafer또는 완성된 디바이스 상태의 반도체에 5？V-200V범위 전압 공급과 1.5fA 1A범위의 전류공급이 가능하며 1uV(10-6V) 정밀도의 전압측정과100aA(10-18A)정밀도의 저전류 측정이 가능합니다. 부가적인 기능으로 반도체의 특성 측정에 관련된 외부기기 즉 Probe Station LCR 미터 Pulse Generator 스위칭 시스템등을 제어하는 기능이 있어 모든 반도체 소자 개발 및 분석이 가능함
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201111/20111101114605.jpg
장비위치주소	한국전자통신연구원 12동
NFEC 등록번호	NFEC-2011-11-150020
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0030258
첨부파일

기업조회