- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
초저전압전계방사형주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Hitachi |
| 모델명 | SU8220 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-01-21 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기초과학지원연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Field emission electron gun이 장착되어 시료의 Damage를 줄일 수 있어 약 1KeV 저가속전압 조건에서도 높은 Resolution을 구현하는 장비로 미세 영역의 영상, 화학성분 분석이 가능하다. 본 장비는 3개의 detector를 이용하여 다양한 이미지를 구현할 수 있을 뿐만 아니라 EDS가 부착되어 있어 시편의 성분과 표면 성분에 관한 연구를 수행할 수 있다. 또한TE detector가 장착되어 미세내부관찰도 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201602/20160203164152686.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기초과학지원연구원 서울서부센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-02-207607 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0060347 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |