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레이저 패터닝 시스템

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보유기관명	(주)티지솔라
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A503
표준분류명
시설장비 설명	레이저 패터닝 시스템은 박막형 실리콘 태양전지의 모듈제작을 위한 필수 장비로써 레이저를 이용하여 박막을 패터닝함으로써 태양전지 셀 간의 직렬연결을 구현할 수 있는 장비임. 투명전도막의 패터닝을 위한 UV 레이저와 실리콘 박막 및 금속 박막을 패터닝 할 수 있는 Green 레이저 즉 두 가지 레이저 소스를 갖추고 있으며 1300 mm x 1500 mm (5.5세대) 기판 크기까지 가공할 수 있는 대면적 장비임. 또한 일반적으로 많이 사용되는 1100 mm x 1300 mm (5세대) 기판 크기도 가공이 가능하도록 제작함. 레이저 소스는 UV 레이저의 경우 Coherent 사의 AVIA 모델이 Green 레이저의 경우에는 Coherent 사의 7W급 Matrix 모델이 장착되어 있음.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201109/.thumb/20110926102240.jpg
장비위치주소	경기 화성시 동탄면 장지리 164-5
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-132765
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0021661
첨부파일

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