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장비 및 시설 기본정보
고분해능X선회절분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Rigaku |
| 모델명 | SmartLab |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-11-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국해양대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B520 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 고분해능 X-선 회절분석기(HR-XRD)는 비파괴적 분석(non-destructive analysis)에 의해 10-6 정도의 높은 strain sensitivity에 이르는 고분해능을 가지는 최고의 성능을 가지는 박막분석이 가능한 X-선 회절분석기로 첨단의 반도체 원자력 나노분야 연구에 가장 적합한 분석기기이다. 여기에 기존의 분말(powder) 회절분석기능을 결합하여 결정구조 결정방향 결정의 배향성 관찰과 동시에 조성분석이 가능.- X-선 발생기 1) Max. power: 3kW 혹은 그 이상 2) X-ray tube: Cu target 3) Tube shield: goniometer built in type - 고니오메터(Goniometer) 1) 형태: 수평형 θ/θ geometry 2) Scanning axis: θ-detector(d) θ-source(s) 3) Scanning mode: θd /θs 결합 θd θs 독립고분해능 X-선 회절분석기(HR-XRD)는 에피층 또는 반도체 박막 등의 단결정 또는 단결정에 가까운 박막의 구조특성을 평가할 수 있으며 반도체산업의 발전과 함께 그 필요성이 점점 더 요구된다. 에피층 박막을 이용하는 반도체 또는 광전자 소자의 요구되는 성능과 내구성은 재료의 구조특성 및 결정성과 직접 연관이 있으므로 비파괴적인 고분해능 X-선 평가 기술은 소자특성을 간접적으로 평가하는 기술로 활용될 수 있다. 본 기술은 에피층의 결성성과 결함 스트레인 두께 표면/계면 특성 등의 구조적 특성을 로킹커브 또는 역격자공간 산란강도 분포도(reciprocal space mapping: RSM)등의 측정을 통하여 평가가 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201308/.thumb/2013080813842147.JPG |
| 장비위치주소 | 부산 영도구 동삼2동 한국해양대학교 한국해양대학교 종합실험실습관 공동실험관 지하1층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-08-181675 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0039636 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |