시설장비 설명 |
FEI사의 Talos F200X은 고분해능의 S/TEM 영상관찰과 업계를 선도할 수 있는 EDS 신호검출 및 3D 화학조성매핑을 적용한 투과전자현미경이다. VeloxTM S/TEM 제어 소프트웨어는 스마트 검색 엔진, 다중 STEM 검출기에 기초하여 4채널을 통합한 영상을 향상시키고 크게 다수의 STEM 감지기에 기초하여 스마트 검색 엔진, 4 채널 통합 영상을 향상 시키며, 미분위상대비(Differential Phase Contrast, DPC) 촬영으로 전자기장 구조를 가지는 물질을 해석한다. 빠른 속도와 우수한 정확도로 EDS 데이터 처리와 3D 토모그라피를 얻는다. FEI사의 고휘도 전자총을 사용하는 X-FEG(Shottky emitter)는 표준 Shottky FEG보다 약 다섯배 높은 빔세기를 가지면서 수렴 각(convergence angle)을 작게 유지한다. 사용자는 향상된 신호 대 잡음비로 이미지 해상도를 가지는 STEM, EDS 및 고해상도 TEM에 응용할 수 있다. X-FEG의 안정성과 긴 수명주기 뛰어난 영상관찰을 가능케 한다. |