굴절율측정기
기관명 | ZEUS |
---|---|
장비번호 | |
제작사 | 새론(주) |
모델명 | SPA4000 |
장비사양 | |
취득일자 | 2003-01-08 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국화학연구원 |
---|---|
보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | F200 |
표준분류명 | 시험 |
시설장비 설명 | 기능 - 사전에 측정시료에 대한 두께 또는 굴절률 정보가 필요하지 않다. - 막 재료와 기판의 조합에 무관한 측정을 수행한다. - 2층 박막에서 각각의 막에 관한 굴절률과 두께를 측정 한다. - 손쉬운 복굴절 및 비등방성 측정을 한다. - 굴절률 두께 측정을 20초 이내의 빠른 측정을 한다. (단 2층 박막의 경우 20-80초 이내) - 두꺼운 벌크 박막의 경우 VAMFO방식으로 측정할 수 있다. - 여러 파장의 레이저를 사용할 수 있다. - 박막의 굴절률 두께 측정 후 일원화된 장비에서 손실(loss)측정을 한다 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161017131712_20110218000000107425 NFEC-2011-02-143432.jpg |
장비위치주소 | 한국화학연구원 11연구동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2011-02-143432 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0028064 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
---|---|
ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |