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장비 및 시설 기본정보
광발광 측정장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 갤럭시아포토닉스 |
| 모델명 | PL+ M200 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-03-12 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국광기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C517 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Photoluminescence의 약자로 광 발광이라고도 부르며 전계 발광(EL)과 달리 특정 파장의 빛을 여기하여 그 에너지로 고유의 빛을 방출하는 현상을 말합니다. PL Mapper는 비 파괴 검사장비 중의 하나로 이를 이용하여 Epi-wafer에서 방출되는 PL 스펙트럼을 여러 가지 광 특성 별로 분석하는 장비입니다. PL is powerful partner of LED manufacturers. It makes easily to prepare next MOCVD run. Fully automated measurement.(simple to operate and fast measure time.) Easy and user friendly software. From 2 ” to 8 ” wafers can be measured.50 wafers(in 2 cassette) can be measured at onetime. Up to 3 installment of Lasers for various choices. (266nm 375nm 405nm 532nm and etc) Wavelength capability is from UV to IR. (optical resolution : 0.02-8.4nm FWHM) Thickness(GaN epilayer only) and reflectivity also can be measured. PL is powerful partner of LED manufacturers. It makes easily to prepare next MOCVD run. Easy and user friendly software. From 2 ” to 4 ” wafers can be measured. (exchange of wafer chuck on motorized stage) Up to 3 installment of Lasers for various choices. (266nm 375nm 405nm 532nm and etc) Wavelength capability is from UV to IR. (optical resolution : 0.02-8.4nm FWHM) Thickness(GaN epi-layer only) and reflectivity also can be measured. Only can be operated included PC. (But can open and use measured data at any PC.) Possible measurement items WP WC WD FWHM Peak intensity Integrated intensity Thickness Reflectance and each STD Reproducibility(100 times continuous measure at same conditions) ±1nm at each wavelength; ±5% at intensity; ±1% at FWHM; ±2% at reflectance; ±3% at thickness Can be compared easily with another wafer by mapping form. Can be shown as linear profile. Can be saved spectrum to 'csv' file. (MS Excel) Can be printed mapping image and spectrum. Can be matched at form of every type of susceptor. Can be shown by each spots and etc. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110124163031.jpg |
| 장비위치주소 | 광주광역시 북구 첨단4길 5(월출동) 시험생산1동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-140945 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0023473 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |