| 보유기관명 |
삼성전기 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C502 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
해당장비의 특징으로는 대면적 스핀코팅 고중량 세라믹 기판 작업(3kg) 지그 탈부착식으로 3인치~12인치 코팅 작업 최고 2000rpm 작업 및 수동과 자동 운전 작업이 가능하다. 더불어 2가지 재료 작업 가능(ex. PR PI)하며 99개의 step별 프로그램 입력 구현이 가능한 특성을 보유 하고 있는 장비이다.
당 장비의 구성으로는 회전부 배기부 안전장치 커버부 액토출부 레저버 및 이송부로 이루어져 있다.장비의 성능으로는 고중량 기판 작업 가능 3인치~12인치 코팅 작업 가능 인터락 안전장치 기능 step별 자동운전 가능 2개의 레저버 설치로 다양한 액 사용 가능(3개까지 가능)하며 이송관 교체 편의성 및 cleaning 용의성을 구현할수 있다.장비의 사용예로는 PI표면 코팅 작업 PR코팅 작업 기판 표면처리를 위한 낵처리 작업을 구현한다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110121101827.JPG |
| 장비위치주소 |
경기도 수원시 영통구 매탄3동 314 32번 1층 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2011-01-135190 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0022896 |
| 첨부파일 |
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