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장비 및 시설 기본정보
이차이온질량분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Cameca |
| 모델명 | IMS-7f Auto |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-12-07 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기초과학지원연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B604 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 고체 표면에 에너지를 갖는 일차이온 빔을 충돌시키면 고체표면으로부터 이차입자들(Ion, Electron, Photon, Neutron 등)이 튀어나오는데, 이때 스퍼터(sputter)된 입자 중 전하를 갖는 이차이온이나 분자 이온의 질량을 측정함으로써 재료표면을 구성하고 있는 원소 및 분자의 종류 그리고 양을 분석하는 장비가 이차이온질량분석기(Secondary Ion Mass Spectrometer, SIMS)임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201612/201612071016693.JPG |
| 장비위치주소 | 한국기초과학지원연구원 부산센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-12-213366 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062984 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |