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장비 및 시설 기본정보
축소미세노광장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Canon |
| 모델명 | FPA-2500i2 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-12-06 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 반도체 소자, MEMS, 센서 제작공정의 미세소자 제작을 위한 um급 이하 크기의 패턴 공정을 하기 위한 기본적인 반도체 장비임. 축소 노광 원리를 이용하는 장비입니다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201612/201612161872998.png |
| 장비위치주소 | 대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-12-213596 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0063196 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |