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터보펌프 소형 진공 증착기

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보유기관명	한국과학기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C503
표준분류명	기타
시설장비 설명	특징 비전도성 투과전자현미경 박막시료의 관찰을 위한 표면 전도 코팅 장비 탄소 지지막 제작으로 분말시료용 그리드 제작. 탄소 코팅용 장비로 고온 고진공에서 탄소를 휘발시킬 수 있는 장비로 탄소 증착과 동시에 2종의 금속을 휘발 증착시킬 수 있는 장비이다. 주사전자 현미경 표면관찰에 필요한 요철 콘트라스트 확대 증착장비이고 진공 하에서 저항가열로서 고융점 세라믹 또는 금속을 휘발시킴. 휘발된 코팅재료를 시료 표면에 원하는 두께로 박막을 증착시켜줌. 타 증착방법에 비해 증착속도가 빠르고 비정질 코팅막을 얻들 수 있음.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201108/20110830150411.jpg
장비위치주소	한국과학기술연구원 L5
NFEC 등록번호	NFEC-2008-01-055556
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0013675
첨부파일

기업조회