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마스크 얼라이너

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보유기관명	구미전자정보기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C501
표준분류명
시설장비 설명	* 특징 - 다양한 공정에 응용 가능한 범용 Mask aligner - Modular 디자인 - 정밀한 포커싱을 위한 넓은 초점 조정 범위 - Top side Alignment 및 Bottom side Alignment - IR alignment - Bond Aligner 로 사용이 가능함 - 최대 substrate 크기: 6“x6“ - UV 400 UV300 UV 250 UV 200(Excimer laser) - Substrate 수평 최적화 시스템 - 높은 공정 수율과 마스크 보호를 위한 정확하고 정밀한 gap setting - 셋업 시간을 줄이고 공정의 재연성을 향상시키기 위한 파라미터 및 프로그램 저장 가능* 장비 성능 1. Substrate : 8inch 2. Resolution : 5nm 3. Auto precision controll* 용도 설명 - 소자공정 중 패터닝 공정 수행 - 미세패턴소자 구현을 위한 패터닝 공정 수행 - 반도체 소자 및 각종 전기소자 제작을 위한 패터닝 공정 수행
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201309/.thumb/20130903223024765.jpg
장비위치주소	경북 구미시 산동면 봉산리 구미국가산업단지 제4단지 13블럭 1-1 구미전자정보기술원 진흥관 6층 612
NFEC 등록번호	NFEC-2008-09-068293
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0011218
첨부파일

기업조회