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장비 및 시설 기본정보
매엽식 세정장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 아론 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-12-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C613 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | Single wet tool - 기판의 세정 및 습식 식각 - 공동실험실동 크린룸에 설치될 기자재임 - 세부공정 전후 수행하여야 하는 세정 및 습식식각장비로서 미세소자 제작 시 꼭 필요한 기본장비임 - 도입될 기자재는 8″ wafer의 세정 및 습식식각 공정이 가능하여 우리원의 기본적인 공정 및 유관 기관의 공정수요에도 적절히 대응할 수 있음 - 화공약품 사용의 절감 및 안전사양의 적용으로 신뢰성있는 다양한 습식 공정개발이 가능할 것임 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201102/20110209173008.JPG |
| 장비위치주소 | 대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-02-140148 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812171087 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |