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장비 및 시설 기본정보
열기화증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)울텍 |
| 모델명 | 개발장비 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-12-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 상기 장비는 화합물반도체 및 실리콘계 반도체 표면에 열기화방법을 이용하여 증착하는 장비이다. 세장의 wafer를 loading할 수 있으며, 4개의 cell을 가지고 있다. rotatry pump와 turbo pump로 고진공상태에서 수행한다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201412/2014122612454479.jpg |
| 장비위치주소 | 첨단방사선연구소 방사선기기연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-12-194916 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kaeri-00087 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |