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장비 및 시설 기본정보
반응성 고주파 스퍼트 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)알파플러스 |
| 모델명 | ALPS SS series |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-07-06 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 3성분계 이상의 복합 형광화합물의 target을 포함한 광변환 소재 증착용 장비로서 고순도 고결정화도 유지의 박막제조로 사용되며 고효율의 태양전지용 광변환 박막 제조방법의 핵심 공정기술을 수행하는 장비 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201304/20130418132535601.jpg |
| 장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 제1연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-05-178561 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0037105 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |