| 시설장비 설명 |
특징: 정압력 구동방식의 접촉식 프로브를 채택한 전기저항 정밀측정 장치. 종래 2점 혹은 4점 전기저항 프로브의 경우 스프링식으로 프로브를 측정대상 표면에 부착하는 방식을 채택함. 즉 표면에 단차가 발생할 경우 동일한 스프링을 4개의 프로브에 적용한다 하더라도 서로다른 접촉력으로 표면접촉이 발생하며 이로인해 접촉면적의 변화와 전기적 접촉의 특성도 서로다른 문제점이 발생함. 본 장비는 스프링 접촉 대신에 정압력 접촉을 이룰 수 있도록 4개의 표면저항 측정프로브가 하나의 공압조에 연결하는 형태를 갖추고 있음. 즉 압력의 인가나 제거에 따라서 공통 공압조에 발생하는 압력에 대응하여 4개의 표면접촉 프로브가 동일한 움직임을 가지고 있으며 접촉자 첨단의 경우 마모저항이 큰 W-Cu합금을 사용하고 첨단 각도를 120도로 가공하여 접촉형상도 완전히 동일하게 제어함. 이와 같은 정압식 전기저항 프로브를 장착한 랩수준의 정밀 전기저항 측정시스템이며 시편테이블을 X Y축 모터구동 시스템으로 변경함으로써 자동으로 100 점 이상의 표면 측정이 용이하도록 하였음. 특징 정압력식 프로브 부착 표면 전기저항 측정시스템 |
