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장비 및 시설 기본정보
스핀 도포 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Suss Microtec |
| 모델명 | LabSpin6/8 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-12-04 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | Bulk형 화합물 반도체 및 Wafer형 반도체에 미세 패턴을 형성하기 위해 필요한 장비임. mask aligner와 contact aligner와 병기하여 사용하며 사진식각을 하기 위해 폴리머 형태의 막을 균일하게 도포하는 장비임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201312/2013120415293998.jpg |
| 장비위치주소 | 한국원자력연구원 첨단방사선연구소 싸이클로트론동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-12-184221 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kaeri-00068 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |