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장비 및 시설 기본정보
비행시간차이차이온질량분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Ion-tof |
| 모델명 | TOF-SIMS 5 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-05-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기초과학지원연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B605 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | TOF-SIMS 는 수백eV~20KeV의 에너지를 갖는 이온빔을 시료표면에 조사하여 발생하는 이차이온을 일정거리를 비행하는 비행시간에 따라 저질량이온에서 고질량이온 순으로 분리하는 분석 장비이다. Dynamic SIMS는 1013atom/cm2 이상의 많은 일차이온을 시료에 입사하는 반면 Static SIMS 종류인 TOF-SIMS는 1013atom/cm2 이하의 적은 일차이온을 시료에 입사하여 표면의 단원자층을 파괴시키지 않으면서 표면에 존재하는 분자를 이온화 시킬 수 있는 특징이 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161122152232_20130805000000166170.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기초과학지원연구원 부산센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-08-181800 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0044436 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |