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장비 및 시설 기본정보
계측장비 베이직 유닛(프리즘커플러)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 새론 |
| 모델명 | SPA-4000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2004-08-20 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 원리 프리즘 커플러는 프리즘을 통하여 박막에 입사된 도파광이 박막에서의 전자기 경계조건을 만족하는 특정입사각(특정 Mode)에서만 존재한 다는 원리를 이용하여 박막의 굴절률과 두께를 측정하는 계측기이다. 즉 입사각을 계속 변화시키면서 박막에 광을 입사시키면 도파가 발생하는 입사각을 측정한 후 이로부터 유효굴절률을 구하여 이것을 각 Mode별 도파조건식(도파 Mode 방정식)에 대입하면 박막의 굴절률과 두께를 구할 수 있다. 특징 - 사전에 측정시료에 대한 두께 또는 굴절률 정보를 알 필요가 없다. - 막 재료와 기판의 조합에 무관한 측정을 수행한다. - 2층 박막에서 각각의 막에 관한 굴절률과 두께 측정을 한다. - 손쉬운 복굴절 및 비등방성 측정을 한다. - 굴절률 두께 측정을 20초 이내의 빠른 시 간에 할 수 있다.(단 2층박막의 경우 20-80초 이내) - 두꺼운 벌크박막의 경우 VAMFO방식으로 측정할 수 있다. - 여러 파장의 레이저를 사용할 수 있다. - 박막의 굴절률 두께 측정후 일원화된 장비에서 손실(loss)측정을 한다.구성및성능 - 광원 : 광원은 632.8nm He-Ne Laser와 405nm의 청색 레이저 - 프리즘 : 프리즘은 측정하고자 하는 박막의 굴절률에 따라 선택 사용할 수 있다. GGG(n=1.965) : 굴절률 측정범위 1.0~1.8 Rutile(n=2.865) : 굴절률 측정범위 1.8~2.4 위상지연판(λ/2 Wave Plate) : λ/2 Wave Plate는 TE활용분야 굴절률이 1.0~2.4 사이인 모든 종류의 박막이나 bulk 물질의 측정이 가능하다 (polymer dielectric etc) |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110124135539.jpg |
| 장비위치주소 | 대전광역시 유성구 가정로 138 4동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2005-12-043744 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013598 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |