전계방출형 주사전자현미경
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Jeol |
모델명 | JSM-7001F |
장비사양 | |
취득일자 | 2011-12-01 |
취득금액 |
보유기관명 | 연세대학교 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A206 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | - 지정업체명/ 품명/ 모델명 JEOL. Ltd (일본) Field Emission Scanning Electron Microscope with NPGS (Nano Pattern Generation System이 구축된 전계방출형 주사전자현미경) JSM-7001F/EDS 주사 전자현미경(SEM)의 원리는 전자총에서 방출된 전자 빔(Electron Beam)을 집속시킨 후 시료 표면의 관찰영역을 주사하여 이때 시료표면에서 발생되는 여러가지 형태의 전자를 검출기로 감지하여 Digital화된 영상신호를 액정표시장치를 통해 표현함으로써 시료의 표면형태 및 조성에 대한 각각의 정보를 영상들을 얻어 출력할 수 있는 장비이다.그 중 전계방사형 주사형 전자현미경(FE-SEM)은 전계 방출형의 전자총을 이용하여 일반 광학 현미경으로는 관측이 불가능한 물질의 미세영역을 고분해 고배율로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어서 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구 개발과 품질 관리 향상에 필수적인 기기이다. 이러한 용도로 사용되는 FE-SEM은 전자빔을 방출 집속하는 전자 광학계 샘플을 넣는 시료실 신호 및 정보 검출을 위한 각종 검출기(Detector) 조작 테이블 출력 장치 등의 여러 부품으로 이루어져 있다.- 용도 주사 전자현미경(SEM)의 원리는 전자총에서 방출된 전자 빔(Electron Beam)을 집속시킨 후 시료 표면의 관찰영역을 주사하여, 이때 시료표면에서 발생되는 여러가지 형태의 전자를 검출기로 감지하여, Digital화된 영상신호를 액정표시장치를 통해 표현함으로써, 시료의 표면형태 및 조성에 대한 각각의 정보를 영상들을 얻어 출력할 수 있는 장비이다. 그 중 전계방사형 주사형 전자현미경(FE-SEM)은 전계 방출형의 전자총을 이용하여 일반 광학 현미경으로는 관측이 불가능한 물질의 미세영역을 고분해, 고배율로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어서 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구 개발과 품질 관리 향상에 필수적인 기기이다. |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/2013100814181816.jpg |
장비위치주소 | 인천 연수구 송도동 과학로 85 자유관B 1층 106-3호 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2012-02-153758 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0030985 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |