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장비 및 시설 기본정보
나노패턴드 쿼츠스탬프
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Ntt-at |
| 모델명 | 모델명없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-03-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C519 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 나노패턴드 쿼츠 스탬프는 나노전자소자를 만들기 위해 나노임프린트 리소그래피를 이용하여 충진재(레진)를 패터닝하는데 사용되는 스탬프이다. 나노전자소자, 나노바이오 소자 등의 제작에 활용될 수 있도록 설계되어 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/201310181831441.JPG |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 메카트로닉스연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-10-183576 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0057672 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |