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장비 및 시설 기본정보
기판 접합기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Suss Microtec |
| 모델명 | SB6L |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-07-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C513 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 온도를 200도이상 증가 시켜 Na이온은 음극으로 이동 O2-이온은 Si표면으로 이동하게 된다. 이때 Si뒷면에 양극이 인가 되어 Si+는 Glass접촉 궤면 쪽으로 이동한 뒤 높은 자기장에 영향을 받아 Electrostatic force가 발생하여 두기판이 긴밀한 접촉(intimate contact)을 통하여 Interdiffusion이 발생하고 covalent 결합으로 접합 된다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927132848.jpg |
| 장비위치주소 | 울산과학기술대학교 자연과학관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-09-172241 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0035126 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |