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장비 및 시설 기본정보
이온주입기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | E.A. Fischione Instruments |
| 모델명 | 1050 Tem Mill |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-11-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B107 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 반도체 무기재료를 직경 3mmφ 두께 50~80㎛의 디스크형으로 제작하고 디스크 중심부을 수십 나노미터로 얇게 제작하여 TEM 분석용 시편을 만드는 시스템입니다. Low angle ion mill is a machine fabricating a semiconductor and inorganic materials in the diameter of the disk-shaped 3mmφ thickness 50 ~ 80㎛ and create a sample for TEM analysis to several tens of nanometers thin by making the disk medium. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927144205.jpg |
| 장비위치주소 | 울산과학기술원 제1공학관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-01-173985 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0035136 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |