- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
유도결합플라즈마질량분석기 업그레이드
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Perkin Elmer |
| 모델명 | ELAN DRC II |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-11-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B604 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | Perkin Elmer의 Elan DRC-II는 한 가지 Plasma 조건(Hot Plasma)에서 모든 원소 분석이 가능하기 때문에 Matrix로 인한 Signal 저하가 없다. 수용액 Standard를 이용한 검량선으로 분석이 가능하기 때문에 표준물 첨가법, Matrix Matching과 같은 복잡한 방법을 사용할 필요가 없다. DRC를 이용하여 Poly-Ion Interference를 모두 제거함으로 분석조건이 간편하다. Turbo molecule Pump 역시 베어링이 Ar으로 Purge되어 인산, 불산 시료로 인하여 Pump가 상하는 것을 방지한다. 1.한가지의 조건(Hot Plasma)에서 모든 원소의 분석이 가능함으로 분석이 간단함 2. DRC를 이용하여 다중 이온 간섭을 제거 3. Purged TMP를 사용하기 때문에 부식성 시료를 분석하기에 적합하다 4. 부식에 강한 Pt Cone이 Standard 임. 다중 이온 간섭종을 화학적인 반응에 의해 완벽하게 제거하는 Perkin Elmer의 DRC(Dynamic Reaction Cell)의 개발로, Hot Plasma 조건에서 모든 원소를 Matrix에 관계없이 분석할 수 있게 되었다. DRC의 원리는 Plasma에서 생성된 다중 이온과 반응 하는 Gas들을(NH3, O2, CH4, H2, He등 : 일반적으로 NH3와 O2으로 모든 간섭종을 제거) 사용하여 통제된 반응Cell (Quadropole)안에서 화학반응을 일으켜 원하는 분석 원소만을 분석용 Quadropole로 보내어 매우 낮은 농도까지 분석할 수 있는 System이다. Elan DRC-II는 Elan DRC-e로는 분석이 용이하지 않은 Ca, K, Mn, Fe, Zn, Ti, Cu, Mg, Cr...등의 반도체 공정분석 원소들도 암모니아 가스를 기본 반응가스로 사용하여 모든 간섭 종을 제거 할 수 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201210/20121017141951.jpg |
| 장비위치주소 | |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-10-171929 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202003109865 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |