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장비 및 시설 기본정보
RF DC SPUTTERING SYSTEM
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 세영전장 |
| 모델명 | BUTTERFLY TYPE |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1999-01-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전기연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 특징 연구자의 의도에 따라 다층박막을 동일 진공조건에서여러개의 SUBSTRAT에 다층박막의 STOICHIOMETRY에 변화를 주는 실험이 가능하여 시료들의 뚜렷한 비교분석. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160826112612_200702065520 NFEC-2000-05-027261.jpg |
| 장비위치주소 | 한국전기연구원 제3연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2000-05-027261 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0053414 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |