- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
스퍼터링장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)울텍 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-12-14 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전기연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1. 고순도의 LiCoO2, LiMn2O4를 포함한 금속산화물을 넓은 증착속도 범위에서 증착 2. 고순도의 Pt, Cu, Al, Ni, Ti, Au 등의 금속막을 넓은 증착속도 범위에서 증착 3. 기판은 조각 시편부터 4" wafer까지 사용 가능 4. Total system은 제어랙과 main system으로 구성 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201111/20111124153846.JPG |
| 장비위치주소 | 한국전기연구원 제3연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-04-020198 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0053418 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |