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초고분석능 전계방출 주사전자현미경

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보유기관명	한국기초과학지원연구원 대덕본원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	전자빔을 시료에 주사하여 시료로부터 발생한 이차전자 및 X-ray를 검출하여 고분해능의 이미지 및 성분분석이 가능한 장비이다. Schottky Emitter Type의 전계방출 주사전자현미경(FE-SEM)으로, Inlens(SE1), SE2, EsB, AsB, STEM 등의 첨단 검출기가 있고, 4채널 동시 분석이 가능하며, 고해상도 EBSD, FSE, TKD와 초고속 고해상도 EDS의 동시분석도 가능한 최첨단 장비로서, 국내 최초로 도입된 칼자이스 사의 동종 세계 최고성능 Flagship 장비임. 또한 Pole Piece 끝단에 Magnetic Field가 형성되지 않는 차별적인 강점이 있어서, 비전도성 시료에 코팅을 하지 않고 Charging 없는 고분해능 이미지를 얻을 수 있음.
장비이미지코드	http://use.kbsi.re.kr/html/user/equ_photo/AE14.jpg
장비위치주소	전자현미경동 지하 B123호
NFEC 등록번호
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-KBSI_EMS-00107
첨부파일

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