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공초점 레이저주사현미경

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보유기관명	한국표준과학연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A202
표준분류명	시험
시설장비 설명	특징: 근적외선 반도체레이저 광원을 현미경 대물렌즈 내부의 공초점핀홀에 통과하여 샘플의 미소영역에 해당하는 레이저신호를 반사시켜 각종 실리콘계열 부품 및 다중층 표면과 내부를 빠르고 정확하게 분석하는데 사용한다. 광원은 1310나노미터 근적외선 영역을 반도체 레이저를 통하여 사용하고 피에조방식으로 한 화면을 1초이내 스캔하여 반도체 내부를 투과방식으로 1마이크론 이내의 해상도로 표면형상을 신속히 관찰할 수 있도록 한다. 실리콘웨이퍼 표면과 내부를 1마이크론이상 투과하여 3차원 형상을 공초점으로 이미지를 취득한다
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161011111158_20100127000000052424 NFEC-2010-01-078222.jpg
장비위치주소	한국표준과학연구원 301동
NFEC 등록번호	NFEC-2010-01-078222
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0017334
첨부파일

기업조회