주사전자현미경
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Hitachi |
모델명 | 3500N |
장비사양 | |
취득일자 | 2001-09-12 |
취득금액 |
보유기관명 | 명지대학교 산학협력단 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 원리 및 특징 * 가속된 전자빔을 시료에 조사할 때 발생되어 나오는 2차 전자 후방산란 전자 엑스선을 이용하여 시편 표면의 미세한 요철상 조성상 및 성분 분석을 할 수 있는 장비이다.구성 및 성능 * Resolution : 3.0 nm ( at 25kV secondary electron image high vacuum mode ) * 4.5nm ( at 25kV backscatterd electron image variable pressure mode Robinson detector) * Magnification : x15 ~ x300000(143 steps) * Accelerating Voltage : 0.3 to 30kV (1171 steps) * Variable Pressure range : 1 to 270 pa * Specimen size : 150/200 mm dia. (maxium) * EDX(Energy Dispersive X-ray Spectrometer) : 5B to 92U사용예 * 금속 재료분야 - 금속 및 세라믹스의 파단면 불순물의 형태 및 성분분석 시료내의 불순물의 위치 powder의 형태와 크기관찰 * 화학공업분야 - 고분자의 형태 소결 및 부식상태 관찰 * 생물 의학분야 - 내부조직의 형태관찰 병리관찰 * 정밀공업분야 - 측면형상관찰 표면처리관찰 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110218180957.jpg |
장비위치주소 | 경기 용인시 처인구 남동 명지대학교용인캠퍼스 산38-2 명지대학교 용인캠퍼스 함박관 2층 9216호 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2008-09-066716 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0010462 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |