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장비 및 시설 기본정보

주사전자현미경

장비 개요

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 Hitachi
모델명 3500N
장비사양
취득일자 2001-09-12
취득금액

보유기관 및 이용정보

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명 명지대학교 산학협력단
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드
표준분류명
시설장비 설명 원리 및 특징
* 가속된 전자빔을 시료에 조사할 때 발생되어 나오는 2차 전자 후방산란 전자 엑스선을 이용하여 시편 표면의 미세한 요철상 조성상 및 성분 분석을 할 수 있는 장비이다.구성 및 성능
* Resolution : 3.0 nm ( at 25kV secondary electron image high vacuum mode )
* 4.5nm ( at 25kV backscatterd electron image variable pressure mode Robinson detector)
* Magnification : x15 ~ x300000(143 steps)
* Accelerating Voltage : 0.3 to 30kV (1171 steps)
* Variable Pressure range : 1 to 270 pa
* Specimen size : 150/200 mm dia. (maxium)
* EDX(Energy Dispersive X-ray Spectrometer) : 5B to 92U사용예
* 금속 재료분야 - 금속 및 세라믹스의 파단면 불순물의 형태 및 성분분석 시료내의 불순물의 위치 powder의 형태와 크기관찰
* 화학공업분야 - 고분자의 형태 소결 및 부식상태 관찰
* 생물 의학분야 - 내부조직의 형태관찰 병리관찰
* 정밀공업분야 - 측면형상관찰 표면처리관찰
장비이미지코드 http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110218180957.jpg
장비위치주소 경기 용인시 처인구 남동 명지대학교용인캠퍼스 산38-2 명지대학교 용인캠퍼스 함박관 2층 9216호
NFEC 등록번호 NFEC-2008-09-066716
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0010462
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, 주제어 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)