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장비 및 시설 기본정보
반평행광 노광기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)세명백트론 |
| 모델명 | SME 10K-PSC |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-10-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 인쇄회로기판(PCB) 패턴을 드라이필름에 형성하기위한 자외선 노광기로 60~80um의 패턴을 형성할 수있고 감광잉크(PSR)의 노광 작업시 400mj의 광량에서 소요시간 6Sec 이내에 작업이 가능함. * 고효율의 UV Flux와 High Level의 Beam Unifomity 달성으로 작업 효율이 향상 * UV Beam or Ray 의 Semi Collimation의 실현으로 효율적인 Fine Pattem을 현상 * 외장 SUS * 내층 :60~80 ㎛ 구현 * Collimations Angle 22 - 32 * 후레임 자동 계폐 방식 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160920142015_20110128000000102692 NFEC-2011-01-138777.jpg |
| 장비위치주소 | (재)광주테크노파크 사업화3동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-138777 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0025245 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |