- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
배치형 진공 리플로우 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Atv Technologie Gmbh |
| 모델명 | SRO-704 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-03-18 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C200 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 1. PLC architecture 2. MFC for precision gas flow control 3. Additional gas lines (Option) 4. CO atmosphere management (Option) 5. Oxygen and moisture monitoring(Option) 6. Controlled Formic Acid concentration 7. Pressure capability > 3 bar (abs) (Option) 8. Direct substrate IR heating/N2 cooling * For pin fin heat sinks * Warped heat sinks * Faster processing * Single wafer processing |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160928102847_20140401000000171609 NFEC-2014-04-186599.jpg |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 PP1동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-04-186599 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00252 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |