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장비 및 시설 기본정보
주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Jeol |
| 모델명 | JSM-6701F |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-06-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 참엔지니어링(주) |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 ＊원리 : 접속된 전자빔을 시편에 주사시 시료로 부터 방출되는 이차전자나 후방산란전자 신호를 이용 시편의 표면형태를 관찰하거나 방출되는 특성 X선을 EDS를 이용 시편의 성분을 정성 및 정량적으로 분석하는 장비. ＊특징 : 1. 분해능이 높기 때문에 고배율로 물체를 관찰할 수 있다. 열방사형 텅스턴 필라멘트 방식의 SEM은 10만배 이상(분해능:3~5nm) 전계방사형 SEM(FE-SEM)은 최대 100만배(분해능:0.5~2nm)까지 확대상을 얻을 수 있다. 2. 고배율 뿐 아니라 10~100배의 저배율 관찰에도 사용할 수 있다. SEM은 렌즈를 교환하지 않고 단지 코일에 흐르는 전류를 변화시켜 배율을 조절할 수 있기 때문이다. 일반적으로 저배율에서 넓은 면적을 관찰한 후 관심 있는 미세영역을 고배율로 관찰한다. 3. 피사계 심도가 대단히 깊다. (피사계 심도란 관찰 대상물의 확대영상에서 초점이 맞는 깊이 범위를 말한다.) SEM은 요철이 심한 파단면의 관찰이나 표면조도가 큰 시료를 관찰하는데 매우 유리하다. 4. 디지털 영상을 제공하기 때문에 영상의 저장은 물론 영상에 대한 다양한 분석이 가능하다. 5. 다양한 검출기 및 주변기기를 장착하여 응용분야를 확장할 수 있다.구성및성능 ＊구성 1. 전자현미경 본체 2. EDS 시스템 3. 이온코팅기 4. 냉각용 칠러 ＊성능 1. 분해능 : 1nm 2. 가속전압 : 0.5 ~ 30kv 3. 배율 : 25~26만배 4. EDS : INCS Energy활용분야 금속파편 광물화석 반도체 소자분석 고분자 및 유기물 분석 생물시료 고분해능 관찰 재료 단면/미세조직 관찰 재료 정성/정량 분석 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110107105746.JPG |
| 장비위치주소 | 경기도 용인시 처인구 남사면 원암리 57번지 참엔지니어링 원암리 공장 Clean Room |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-07-080802 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0018724 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |