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장비 및 시설 기본정보
진공증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 아텍시스템 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-12-21 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 성균관대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 나노 에너지 소자 제작 응용활용분야 나노 에너지 소자 제작 응용 * PECVD System(Plasma Enhanced CVD/ 플라즈마 화학기상증착장비) 1.Process Chamber : 1set -Chamber Body : Φ380*400H / -Mechanical/Electrical Polishing 2.Substrate Assy(4") : 1set -Substrate Rotation: 25W Break Motor/ (Speed)10-60rpm -Substrate UpDown : 25W Reversible Motor / -BIAS: RF&DC/ (Power Supply)DC Plus 1.5KW 3.Shower Head(7") : 1set -Plasma Gas Feeding/Reaction Gas/Cool Air Feeding/Water Cool Room 4.Gas Delivery System : 1set -Mass Flow Control: AirO2(2ea) Cl2SF6CHF3(3ea) / -MFC Readout(6CH) 5.Pumping System : 1set -Turbo Pump(Osaka 450L/sec) / -Dry Pump 6.Load Lock System(14"*10"*2.3"H / Chamber Body:SUS304E/P) : 1set 7.Electrical Controller : 1set -RF Power Supply Auto Matcher: Youngsin 600W / -Substrate Heating/Position/Rotation Control -Vacuum Gauge/Main Power/System/Pressor/Loadlock/Safety Control / -Frame W/Control Rack. * 용도: 나노에너지소자 제작응용을 위한 나노물질의 합성 * 청구: Didier Pribat교수(총괄: 이영희교수) / 설치: 에너지나노재료실험실(83521호) / 관리: 일반대학원 에너지과학과 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201110/.thumb/20111007092703.JPG |
| 장비위치주소 | 경기 수원시 장안구 천천동 성균관대학교자연과학캠퍼스 300번지 성균관대학교 자연과학캠퍼스 제2종합연구동 5층 83525 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-06-080973 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0018747 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |