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습식세정기

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보유기관명	삼성전기
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C502
표준분류명
시설장비 설명	특징: 12인치 대면적 에칭 및 세정 장비. 에칭 bath는 에칭액에 의한 산화 방지를 위해 테프론 재질로 되어 있음. 세정 bath는 N2버블 초음파 스프레이 세정 방식 가능 온도제어 가능구성: 2bath 구조(에칭조 세척조) 배기구 설치 에칭액 내부 순환식 울트라소닉(40khz) bath히터 성능: FeCl3 에칭액 사용 가능 지그 변경을 통해 최대 3장 작업 가능 워터건과 질소건 설치로 인한 세정 편의사용: 기판 표면 에칭 및 에칭 후 세정용
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110124085748.JPG
장비위치주소	경기 수원시 영통구 매탄동 314 삼성전기
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-135569
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0023008
첨부파일

기업조회