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장비 및 시설 기본정보
증착기를 포함한 글로브박스
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 우성하이백 |
| 모델명 | Thermal Evaporator |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-02-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 금속이나 산화물반도체 등을 열 에너지로 증착시켜 박막을 형성하는 장비다. 또한 인쇄 전자소자의 주 재료가 되는 유기물은 산소나 수분에 민감하게 반응하여 전기적 성질이 저하되는 현상이 있어 소자를 inert gas 분위기 하에서 제작해야만 하는데 질소로 충진된 glove box내에 증착기를 장착함으로 안정성있는 소자를 제작할 수 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201303/20130313112244390.jpg |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 신재생에너지연구소 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-03-177043 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0037429 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |