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장비 및 시설 기본정보
Sb성장용 Compact21 MBE반응기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Riber |
| 모델명 | Compact 21 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-02-14 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C505 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 장비의 주요 특징 ○ Sb 화합물 박막 증착용 주 MBE 챔버(1기)와 시편의 열처리 및 기존의 이동 모듈과 연결될수 있는 보조 챔버(1기). ○ 보조 챔버는 기존 MBE system과 sputter system 및 Ebeam chamber 사이에 시편 이동 모듈을 이용하여 연결됨. ○ 기존 dual MBE chamber와의 연결의 편의와 유지비 및 운영비 감소를 위해 dual MBE를 제작한 Riber사의 장치를 구매함. 또한 기존의 Dual MBE 구매시 작성한 계약에 의해 할인이 가능한 장점도 있음. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110125183553.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-03-053024 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0008107 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |