분광엘립소미터
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 나노뷰 |
모델명 | SE MG-1000UV |
장비사양 | |
취득일자 | 2014-07-30 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A408 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 박막의 굴절륭 및 두께 등을 넓은 영역에서 정확하게 측정 가능한 장비 복합층의 경우 모델링에 의해 각각 층에 대한 두께 측정이 가능하며, 금속 박막의 경우 약 10 nm 정도까지 두께 측정 가능 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201502/20150210101835193.jpg |
장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
NFEC 등록번호 | NFEC-2015-02-196942 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0049382 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |