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전자현미경,전계방사형주사전자현미경

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보유기관명	군산대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	집속된 전자빔을 시편에 주사시 시료로부터 방출되는 이차전자나 후방산란전자 신호를 이용, 시편의 표면형태를 관찰하거나, 방출되는 특성 X선을 EDS(Energy dispersive spectroscopy)를 이용, 시편의 성분을 정성 및 정량적으로 분석1. 분해능 : 1.0nm (at 15kV), 2.0nm (at 1kV) 2. 배율 : x20 ~ x800,000 3. 전자총 : Cold Type Field Emission 4. 가속전압 : 0.5 to 30kV 5. Specimen stage : X, Y : 50mm x 50mm Z : 1.5 to 40mm T : -5˚ to +70 ˚ R : 360˚ 2) EDS 1. 분해능 : 137eV at 30mm2(MnKa) 2. 검출범위 : B(5) to U(92) 3. 분석내용 - 정량분석① 금속 재료 분야 -금속 및 세라믹스의 표면 관찰 -반도체에서 기판위에 증착시킨 박막 두께 관찰 ② 화학공업분야 -고분자의 형태와 크기, 표면형상 관찰 ③ 생물 및 의학 분야 -저전압으로 조직의 형태 관찰 ④ 지질분야 -후방산란전자를 이용한 compo/topo 사진촬영
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201412/.thumb/20141224103718766.jpg
장비위치주소	전북 군산시 미룡동 군산대학교 산68번지 군산대학교 1층 3107
NFEC 등록번호	NFEC-2014-12-194332
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0046955
첨부파일

기업조회