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장비 및 시설 기본정보
TEM샘플 제작 시스템(FIB)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | FEI |
| 모델명 | Quanta 3D FEG |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-01-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A200 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 집속이온빔은 고 분해능 전자이미지 이온이미지 나노소자제작 물질 증착 등 다양한 능력을 가지고 있다.？또한 동시에 나노스케일 패터닝 (에칭 증착)과 이미지 관찰이 가능하며 이온빔과 전자빔을 동시에 이용하여？고해상도의 단면관찰 및 TEM/3DAP 시편제작이 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201309/20130906112931306.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술원 중앙분석센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-09-182635 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0039179 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |