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장비 및 시설 기본정보
자동압력조절형 보론 나이트라이드 성장장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 싸이엔텍 |
| 모델명 | TCVD50 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-08-18 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 기초과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 다양한 온도 및 다양한 실험용 가스의 미세한 압력조절을 바탕으로 기상의 전구체를 다양한 기판위에서 증착시켜 고품질의 육방정 보론 나이트라이드를 합성하는데 사용되는 장비임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201701/20170104141446394.png |
| 장비위치주소 | 울산과학기술원 저차원탄소혁신소재연구관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2017-01-235602 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712202259 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |