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장비 및 시설 기본정보
정밀 식각 코팅 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Gatan |
| 모델명 | GATAN 682 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-04-06 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 상기 장비는 주사 전자 현미경의 시편 제작용 장치로써 주사 전자 현미경을 이용하여 시편을 관찰하기 위한 시편 전처리 장치 중 가장 최신의 기술과 기능을 갖춘 장비입니다. 가공할 시편을 한번에 다량으로 장착하여 고 진공(7 x 10-5 torr)의 Chamber에 위치시키고 매우 Fine하고 Density가 높은 Etching Ion Beam으로 Ion Etching 을 실시함으로써 짧은 시간 내에 매우 정밀한 부분까지 시편을 Etching 및 Cleaning 해내게 됩니다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927185942.jpg |
| 장비위치주소 | 울산과학기술원 108동(자연과학관) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-01-174390 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0035158 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |