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원자층 증착기

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보유기관명	한국생산기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A0
표준분류명
시설장비 설명	(1) 다양한 종류의 박막을 나노미터 이하의 단위로 정교하게 합성 -평평한 구조의 박막, 3D 구조의 복합체, 와이어, 분말 등에 합성 가능 -1 sccm 단위의 극미량의 전구체 주입을 통한 정교한 박막 합성 가능 (2) 전구체 이송 가스(Ar, N2)를 이용하여 전구체 공급의 정밀한 제어 가능 (3) 두 종류 이상의 전구체의 동시 주입이 가능한 멀티 증착 기능 (4) 챔버 내 모든 샘플 위치에 균일한 박막 형성 (균일도 > 95 %) (5) 상업용 장비 중 최소 사이즈의 챔버 구현으로 박막 증착 시간 대폭 단축 (6) 안정된 밸브구조와 제어 프로그램의 최적화를 통한 매우 정밀한 수준의 박막 형성 (7) 디지털 출력이 가능한 초정밀 게이지를 이용한 정확한 진공도의 측정 (8) 유지/보수가 성능에 큰 역할을 하는 증착장비 특성상, 적은 부품/단순 구조/부품 최소화가 이루어진 본 제품이 고품질 박막 형성에 매우 유리함.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201607/2016072794847891.JPG
장비위치주소	한국생산기술연구원 연구동
NFEC 등록번호	NFEC-2016-07-211048
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0061710
첨부파일

기업조회