- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
주사탐침현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 파크시스템스 |
| 모델명 | XE-100 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-10-16 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 전남대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A208 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 -원리 뾰족한 탐침이 달려 있는 마이크로캔틸레버를 시료 표면에 접근시키면 탐침 끝의 원자 와 시료표면의 원자 사이에 서로의 간격에 따라 끌어당기거나(인력) 밀치는 힘(척력)이 작용하는데 이 힘의 크기에 따라서 캔틸레버가 많이 휘어지거나 적게 휘어지게 된다. 이때 캔틸레버가 아래위로 휘는 정도를 레이저 광선을 이용하여 측정하여 표면을 원자 크기로 형상화 할 수 있다. 1. 대기중에서 극초정밀 분해능으로 시료표면 관찰 2. 원자수준의 분해능으로 3차원 입체구조 분석 3. 하드웨어적인 Closed-loop Feedback 제어로 왜곡현상 없는 이미지 화상 도출 4. 수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호간섭 배제 5. 고속구동 가능한 수직(Z) 스캐너 ( 최대 주파수 : 1.7 kHz ) - 튜브 스캐너 대비 약 3 ~ 5 배 속도 - True Non-Contact Mode 측정 가능 * Tapping Mode로는 측정할 수 없는 Soft 샘플 등 측정 가능 6. 수직(Z) 스캐너 축에 일치된 광학 현미경 - 측정 위치 찾기 / 위치 이동에 편리구성및성능 1) 콘트롤 시스템 - CPU & 메인 메모리 : Pentium IV 1 GB - 저장장치 : 160GB hard disk and 3.5-inch 1.4MB FDD CD-R/W - 그래픽 : Super VGA Graphics 1280x1024 pixel - 운영체계 : 윈도우 XP Professional - X/Y/Z 콘트롤 회로 : 3축 모두Closed-loop Feedback 위치제어 - DSP 제어 : 600 MHz DSP Control ( 4800 MFLOPS ) - Electrical Controller : 16 channel of 16 bit DAC at 500kHz settling 16 channel of ADC at 500kHz sampling - 듀얼 19 인치 LCD 모니터 - 16 비트 해상도를 갖는 3개의 입력단과 1개의 출력단이 하나의 보드에 장착 - 외부신호와의 동조를 위한 End-of-pixel end-of-line end-of-frame TTL 신호출력단이 있음 - 컴퓨터 / 콘트롤러 통신 : TCP/IP 또는 USB 2) AFM 스테이지 / 헤드 / 스캐너 - 최대 샘플 사이즈 : 100mm x 100mm ( 두께 : 최대 20mm thick ) - 최대 샘플 중량 : 500 g - 샘플 이동거리 : 최대 25mm x 25mm ( 고정밀 수동 마이크로미터 ) - 100 um 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어 * 수평(XY) 측정영역 : 최대 50 um x 50 um (Low Voltage Mode :5umx5um) * 분해능 : 〈 0.04 nm (open-loop) 〈 1.5 nm (closed-loop) * Out-of-plane curvature (스캐너 왜곡율) : 1 nm 미만 (수직방향 / 소프트웨어 보정 없이50 um 측정 시) - 수직(Z) 스캐너 : * 수직(Z) 측정 영역 : 최대 12 um ( Low Voltage Mode : 1.7 um ) * Noise floor : 〈 0.02 nm (typical) 〈 0.05 nm (maximum) * 최대 주파수 : 1.7 kHz 이상 - 수직(Z) 스테이지 이동 : 27 mm ( 해상도 : 0.1 um ) - 캔틸레버 변형 검출 : SLD ( Super Luminescent Diode ) 이용 * 파장 : 830 nm ( Coherent Length : 50um 미만 ) - SPM 측정 기능 : Contact AFM DFM NC-AFM LFM Phase Image Force vs. Distance curve EFM DC-EFM SKPM Nanolithography - 비디오 광학 현미경 : 수직(Z) 스캐너 축에 일치 ( CCD 카메라 장착 ) * 배율 : 780 배 ( 19" LCD 모니터 상 ) * 해상도 : 1 um ( 0.28 N.A ) * 디지털 인터페이스 : IEEE 1394 * 프레임 레이트 : 최대 20 Hz * 관찰 영역 : 480 mm x 360 mm * 디지털 줌 : 최대 100 배 3) 시스템 성능 - X/Y/Z 스캔 제어 : 하드웨어 Closed-loop Feedback 제어 - Tip / 시료 접근 : 5 Phase 스텝 모터 구동 * Backlash-free harmonic gear reduction - 레이저 빔 정렬 : 광학경로에 방해물 없어서 캔틸레버에 손쉽게 정렬 - 캔틸레버 교환 : 칩 마운트를 이용하여 손쉽게 교환가능 - 도브테일 헤드 마운트 : 레일을 따라 이동함으로써 탈착 용이 4) 소프트웨어 - 데이터 수집/분석 * 윈도우 XP 기반 데이터 수집 및 이미지 처리 * 기울기 및 굴곡 실시간 자동 보정 * 동시에 최대 16 이미지를 얻음 * 데이터 파일 형식 : PNG / JPEG / Text files * 측정 이미 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/2013101114274163.jpg |
| 장비위치주소 | 광주 북구 용봉동 전남대학교 300 전남대학교 공대1호관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-11-076239 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0014627 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |