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장비 및 시설 기본정보
반도체 전기 특성 측정 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Keithley Instruments |
| 모델명 | 4200-SCS/F |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-04-04 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 키쓸리 반도체 분석장비는 OLED TFT 태양광전지 등의 전기적 성질을 측정하는데 쓰이는 측정 장치로 대부분의 반도체 특성평가를 가능하게 함. 기본적으로는 전류 전압 측정이 기본이며 펄스를 사용하는 측정도 가능함. 한국의 기간 산업인 반도체분야에서는 반도체 소자 평가 검사 신뢰성 측정 수명 측정에 사용됨. 새롭게 떠오르는 나노기술과 MEMS 에서도 또한 활용되며 이온과 도핑 특성 평가 고 유전체 평가 저유전체 평가 메모리 평가 3-5 족 반도체 평가 등에 주 분석 장비로 쓰임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201106/20110609181637.JPG |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 전북분원 연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-06-145709 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0029296 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |