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장비 및 시설 기본정보
전자이온빔
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Wallac Oy |
| 모델명 | 1220 Quantulus |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-01-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 중앙분석센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 고분해능 전자이미지, 이온이미지임. 나노소자제작 및 3차원 구조물 제작함. Pt, C 물질 증착함. 나노스케일 패터닝 (에칭, 증착)함. 이미지 관찰함. 고해상도 단면관찰 및 TEM/3D-Atom Prob 시편제작함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/hENYGOFroVSpbJkQaCX7_w600.bmp |
| 장비위치주소 | |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-12-235272 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kaist_analy-00029 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |