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장비 및 시설 기본정보
초점화된 이온 빔&주사 현미경 동시 장착 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Fei |
| 모델명 | Qunta 200 3D |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-12-13 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 서울대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A208 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 두개의 축을 가진 Ion 주사 part와 Electron 주사 파트가 있으며 낮엔 운동량을 가지는 Electron 주사를 통하여(SEM) 금속의 표면을 관찰한 후 높은 운동량을 가지는 Ion 주사를 통해(FIB) 금속의 표면을 가공하는 장비이다.구성및성능 규격 50 x 50 mm Eucentric Stage Microscope Controller with 17″LCD monitor Support Computer Tungsten Filament Electron Column Magnum Ion Column Three SE Detectors （SED LF-GSED GSED〕 CCD IR Camera Report Generation and Data Archiving Software Oil-free Pumping System Table Top with support Focsed Ion Beam Source Magnum Image resolution 10.0nm at 30kV Scanning Electron Microscope Source Tungsten filament emitter Image resolution 3.5nm at 30kV 3.5nm at 30kV when ESEM mode under 15nm at 3kV when low vacuum mode활용분야 1. 표면 관찰 후 단면 절삭 2. 수십나노 구조의 슬릿 제작 3. 복잡한 구조의 금속 grating 패턴을 bitmap이미지를 통하여 가공 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110216152741.JPG |
| 장비위치주소 | 서울 관악구 대학동 서울대학교 산 56-1 서울대학교 104-1동 (반도체공동연구소교육관) 5층 515호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-10-075782 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0014447 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |