| 시설장비 설명 |
본 기기를 통해 10kHz로부터 225MHz에 이르는 RF 신호 및 펄스 RF 신호를 증폭할 수 있으며 최대 출력 전력은 2.5kW로 넓은 주파수 대역에서 2kW이상의 출력이 가능하다. 단순한 구형파 외에 사각파 RF펄스 등 다양한 파형의 증폭이 가능하므로 이를 이용하여 각기 다른 주파수 및 펄스 전력으로 다양한 성질의 플라즈마를 만들 수 있다. 상기 제품은 측정을 위해 DC2035A 및 PM2003 PH2000 option을 포함하였으며 이들 모듈은 입사파와 반사파의 분석을 통해 Forward 및 Reflect 전력의 양을 계산해주어 Amp로부터 플라즈마 소스 사이의 Matching여부를 실시간으로 쉽게 보정할 수 있다. 또한 본 기기는 전력 장치 여러 대에 대응하는 전력 장치로 장기적인 관점에서 탄소섬유 저가 생산공정 탄소섬유 표면 계질 변화 나노구조체 생성 등 다양한 공정에 대응하는 플라즈마 원을 개발하는데 중요한 역할을 할 수 있다. 또한 CCP ICP 등 다양한 플라즈마 소스원에 다양한 주파수의 Sin wave 및 펄스의 전력을 공급하여 플라즈마를 발생함으로써 플라즈마 관련 분야의 기초적인 연구 역시 가능하다. 본 장비는 KAIST 내 다수의 플라즈마 실험실 주성 등 플라즈마 장비 기업 등 다수의 플라즈마 관련 실험 및 연구가 진행되는 곳에서 보유하고 있는 장비다. |
