| 보유기관명 |
부경대학교 용당캠퍼스 산학협력단 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C501 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
포토레지스트는 IC의 제작 공정에서 리소그래피 기술에 쓰이는 감광성수지를 뜻하는 말이며 기본적으로 스피너라 불리는 회전기 위에서 웨이퍼 위에 얇고 균일하게 포토레지스트를 바르고 건조시킨 다음 포토마스크를 통해 빛을 쬐는 장치를 포토레지스트 노광기라 한다.포토마스크가 필요없는 노광 장치 설계 및 조립 시험 검토 후 수정 보완을 하는 것으로 UV-LED 광원을 사용한다. peak 파장 : 365+_10nm LED powder 500mW 광원 조사거리 : 20-200um 조사위치 정밀도 +-1um이다.
포토레지스트의 감광성 및 현상성 각종 내성등 검토 후 보완실험을 하였다. (연필경도는 4H이상 각종 용제에 1h dipping 후 용해 빛 박리가 없으며 Cross-cutting test 방법으로 접착력 검토 80/100) |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201108/.thumb/20110822154842.jpg |
| 장비위치주소 |
부산 남구 용당동 부경대학교 용당캠퍼스 5공학관 216호 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2011-08-147760 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0029691 |
| 첨부파일 |
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