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장비 및 시설 기본정보
비접촉식 3차원 입체형상 분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 나노시스템 |
| 모델명 | NV-1000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-05-06 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 경북테크노파크 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 다양한 파장을 갖는 백색광을 기준면과 샘플표면에 조사하여 반사되어 돌아온 광이 상호 중첩되어 보강간섭과 상쇄간섭이 발생하도록 한다. 이런 조건에서 피에조 이송기를 이용하여 샘플과의 거리를 변경시키면서 보강간섭이 일어나는 점을 계측하여 이미지를 형성하는 장비- interferometric objective : single lens available - scan range : 0~180um(option 270um) - vertical resolution : WSI : < 0.5nm / PSI : < 0.1nm - stage tilt : ±3 - Z stroke : 30mm(manual) - workpiece stage : 50 X 50mm(manual)메디컬섬유소재의 표면측정 섬유기반 소재 및 기타 물성 소재의 표면 측정 원재료의(합성물 천연물 고분자재료)의 표면 및 미세형상 측정 미세 소자 및 패턴의 형상 측정 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201308/.thumb/20130821134646988.jpg |
| 장비위치주소 | 경북 경산시 삼풍동 300 경북테크노파크 글로벌벤처동 1층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-08-182212 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0040598 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |